Product series
產(chǎn)品系列
團(tuán)隊(duì)歷時(shí)十余年,開(kāi)展降減隔振頻率、減隔振動(dòng)傳遞、穩(wěn)承載平臺(tái)、集系統(tǒng)設(shè)計(jì)的系統(tǒng)性研究,
在負(fù)剛度、變阻尼和減隔振-穩(wěn)姿協(xié)同方面具有獨(dú)創(chuàng)性成果, 研制40余種超精密減振器并形成標(biāo)準(zhǔn),
性能媲美國(guó)際同類產(chǎn)品,相關(guān)成果獲國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)、國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
提出環(huán)境-載體-抑振裝置-抑振對(duì)象的耦合動(dòng)力學(xué)建模與分析方法,發(fā)明全球首臺(tái)電磁扭轉(zhuǎn)動(dòng)剛度測(cè)試設(shè)備,構(gòu)建抑振裝置個(gè)性化設(shè)計(jì)、測(cè)評(píng)體系,實(shí)現(xiàn)了分析-設(shè)計(jì)-定制一體化系銃解決方案的突破。
揭示定位和抑振耦合機(jī)制,提出絕對(duì)位置和速度反饋的協(xié)同控割策略,發(fā)明傳感器測(cè)量帶寬拓展方法,控制帶寬向低頻拓展十倍頻程,抑振一定位平臺(tái)位姿穩(wěn)定精度達(dá)納米級(jí),國(guó)際最優(yōu)。
揭示了氣、液、磁多種介質(zhì)和結(jié)構(gòu)耦合作用的阻尼頻變機(jī)制,發(fā)明了等效絕對(duì)阻尼的無(wú)源頻變阻尼構(gòu)型和結(jié)構(gòu),使共振區(qū)振幅降低90%以上,高預(yù)振動(dòng)傳遞衰減速率接近-40dB/dec的極限。
提出相斥磁性負(fù)剛度抑振原理,發(fā)明了高承裁的近零頻率減隔振技術(shù)與裝置,噸級(jí)承載下固有頻率低至0.19Hz,是所見(jiàn)報(bào)道的國(guó)際最高水平。
超精密主動(dòng)減振系統(tǒng)是保證高端制造設(shè)備、精密儀器設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的關(guān)鍵,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造各環(huán)節(jié)。
當(dāng)前,超精密主動(dòng)減振系統(tǒng)處于“卡脖子”狀態(tài),海外廠家市場(chǎng)占有率100%,我國(guó)長(zhǎng)期空白。